半导体行业的重要性不言而喻，随着互联网时代技术的不断更新和演进，芯片的应用更加广泛，新能源、信息通讯设备、4C产业、智能电网等领域均需要芯片的支撑。而芯片的制造涉及多个关键步骤，包括晶圆制备、氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积等。在制造过程中，精密的设备和技术被用来确保芯片的质量和性能。

芯片加工过程会产生大量的数据和文件，为了保证芯片生产的精密性和准确性，需要对机台数据采集，分析和利用，所以，对于半导体行业来说，机台数据采集是极为重要的一环，它关系到芯片生产动态是否能被准确、及时掌握、生产问题是否能得到及时排查和纠正，最终关系到芯片的良率和企业投入产出比。

一般而言，芯片加工过程中机台数据采集种类包括但不限于以下：

制造过程数据：

晶圆数据：晶圆表面的质量、尺寸、杂质浓度等参数。

沉积层数据：包括沉积层的厚度、均匀性、组成等。

蚀刻数据：蚀刻的深度、形状、精度等。

光刻数据：曝光剂量、焦距、曝光时间等。

离子注入数据：离子种类、能量、剂量等。

温度和压力数据：在热处理和其他制造步骤中，需要精确控制温度和压力。

设备状态数据：

设备运行参数：设备的电流、电压、功率等运行参数。

设备故障和维护记录：记录设备的故障信息、维护时间和维护内容。

质量控制数据：

检测数据：包括芯片表面和内部结构的显微图像、尺寸测量、电学性能测试等。

质量评估报告：基于检测数据对芯片质量进行评估的报告。

半导体企业通过多种⽅式来进⾏机台数据的汇集和处理，如FTP脚本、机台⾃带数据上报⼯具等，但在实际的⽣产运⽤中，仍存在较多问题和挑战，如：

⽆法统⼀采集，企业基于不同业务需求采购不同⼚商、规格、运作模式的机台设备，难以采⽤统⼀的⽅式进⾏数据的汇集；

⽆法保障可靠性，当机台数量过多、达到上百上千台时，极易出现机台数据未采集或采集不全的情况，且难以获知和排查；

不能响应多种采集策略，不能对不同机台实⾏不同的采集策略，难以落实精细的采集需求。

那么，半导体企业该如何替代原有的机台数据采集方式，在保证数据采集的准确性的同时，不影响数据采集和应用的效率呢？

Ftrans MDT机台数据传输管控系统帮助企业建⽴统⼀的机台数据汇集和管控通道，灵活、可靠、有效⽀撑机台数据采集和管理需求，实现机台数据的有效利⽤，提升⽣产质量和效率。

1.可靠数据采集，保证数据准确性

可靠、准确、灵活地响应企业多机台数据采集需求，以统⼀的⽅式帮助企业构建了安全⾼效的机台数据采集管控通道，及时发现⽣产问题、发挥数据价值。

2.精细化数据授权，安全有效使⽤数据

可基于系统对汇集后的机台数据进⾏精细的⼈员使⽤授权，避免了数据权限粗放式管理带来的安全⻛险，充分发挥数据的价值。

3.灵活可视的数据管理，释放IT管理压⼒

灵活的数据采集策略、可视可控的数据采集过程、及时的问题告警机制，能极⼤释放⼈⼒管理投⼊，让管理更轻简⾼效。

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关于飞驰云联

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