摘要

在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。

建模任务

structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

系统建模块

特定位置的Talbot图案

特定位置的Talbot图案

不同位置的Talbot图案

不同位置的Talbot图案

沿 Z 轴的强度

VirtualLab Fusion技术

文件信息